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電子凈化車間

產(chǎn)品分類:電子凈化車間工程
添加時間:2024/7/31 11:25:52

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產(chǎn)品介紹

電子凈化車間

潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設(shè)計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚,因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。

一般來說,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。

芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分。

由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

◆電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。

◆電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。

◆電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。

◆電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值:

一、補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和;二、保證供給潔凈室

內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m³。

◆電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護,寒冷地區(qū),新風系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施。

無塵室的送風量,應(yīng)取下面三項最大值:

1.保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量;

2.根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量;

3.向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。

潔凈度影響因素

潔凈室作為一個龐大的凈化系統(tǒng),面積大的同時,還需要劃分復雜的功能分區(qū)以及相應(yīng)的緩沖配套間等,共同構(gòu)成了復雜的送、回風系統(tǒng)。

因此,會導致潔凈室的潔凈度不合格的因素很多。主要包括:

(1)設(shè)計級別與空調(diào)布置

潔凈室的設(shè)計級別與空調(diào)布置情況直接關(guān)系著潔凈室的潔凈度等級水平。

(2)施工水平

廠房整體施工質(zhì)量,空調(diào)系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、排污系統(tǒng)等保障設(shè)備的安裝質(zhì)量與潔凈室的潔凈度息息相關(guān)。

(3)氣流組織

若氣流組織不合理,則送風氣流無法充分籠罩工作區(qū)。送、回風口的位置不合理,將會產(chǎn)生較高、較大的渦流,則單向流潔凈室的氣流偏斜角過大。回風格柵開孔面積布置不合理,則回風速度偏高,回風不暢。

(4)高效過濾器

高效過濾器質(zhì)量問題或安裝問題導致送入潔凈室的空氣未經(jīng)過有效的過濾,空氣中懸浮的部分塵埃粒子沒有被濾除,導致潔凈室內(nèi)潔凈度不合格。

(5)換氣次數(shù)

換氣次數(shù)不足會導致潔凈室內(nèi)被污染的空氣無法快速排出潔凈室,過低的換氣次數(shù)也無法抑制發(fā)塵源的污染作用。

(6)靜壓差

靜壓差不合格會使?jié)崈羰覠o法阻擋其外部的污染物進入潔凈室內(nèi)。

(7)風淋室

風淋室作為進入潔凈室所必需的通道,用來減少進出潔凈室所帶來的污染問題。因此,它的質(zhì)量與潔凈室的潔凈度密切相關(guān)。

(8)設(shè)備擺放

室內(nèi)設(shè)備擺放位置不合理會影響潔凈室內(nèi)的氣流流向不能達到由上至下、由中心至四周的正常流向,造成氣流紊亂,令污染物不能有效排出潔凈室。

(9)新設(shè)備搬入

新設(shè)備的搬入過程需將潔凈室內(nèi)環(huán)境與外界大氣連通。因此,需嚴格控制設(shè)備的搬入時間與搬運安裝流程。同時,設(shè)備的外包裝需經(jīng)過嚴格的擦拭清潔后方可搬入。

(10)化學物質(zhì)

原材料中的化學物質(zhì)以及生產(chǎn)過程中的衍生物均會產(chǎn)生一定的揮發(fā)物,對潔凈室的潔凈度產(chǎn)生影響。

(11)保潔水平

潔凈室清潔不徹底將導致室內(nèi)積聚污染物,造成衛(wèi)生死角。

(12)人員與物資運轉(zhuǎn)

潔凈室運行過程中,人員和物資的運轉(zhuǎn)很容易在污染敏感的活動周圍產(chǎn)生空氣紊流,是潔凈度的主要污染源。

物資流轉(zhuǎn)量過大,作業(yè)人員數(shù)量超標,人員潔凈服穿著不當?shù)葐栴},均會造成發(fā)塵量超標。

潔凈度等級(美國聯(lián)邦標準209E)

潔凈度級別                  粒*徑(μm)







0.1

0.2

0.3

0.5

5

1

35

7.5

3

1

N/A

10

350

75

75

10

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100

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750

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100

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1000

N/A

N/A

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1000

7

10000

N/A

N/A

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70.3

100000

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700

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